Tekniikasta riippumatta teollisuustyhjiöpumpun olennainen toimintaperiaate pysyy samana. Ilmamolekyylit (ja muut kaasut) poistetaan tyhjiökammiosta tyhjiöpumppujen avulla (tai ulostulopuolella, jos korkeampi tyhjiöpumppu on kytketty sarjaan). Ylimääräisten molekyylien poistaminen vaikeutuu asteittain, kun kammiossa olevaa painetta lasketaan.
Tuloksena,teollinen tyhjiöjärjestelmäon kyettävä toimimaan merkittävässä prosenttiosuudessa erittäin laajalla painealueella, joka vaihtelee usein välillä 1 - 10-6 Torr / 1,3 - 13,3 mbar. Tämä on laajennettu 10-9 Torriin tai sen alle tutkimus- ja tieteellisissä sovelluksissa. Normaalissa tyhjiöjärjestelmässä tähän käytetään usean tyyppisiä pumppuja, joista jokainen kattaa osan painealueesta ja toimii toisinaan sarjassa.
