Vuonnapuolijohdeteollisuus, valintapinnoitustekniikkaon tärkeä tekijä, joka vaikuttaa tuotteen laatuun ja suorituskykyyn. Tänään esittelemme FFE-teknologian kaikille.
FFE-teknologian kehitti GENCOA Isossa-Britanniassa, joka käyttää sisäisesti pyörivää magneettikenttäään ytimenään parantaakseen merkittävästi pyöreän tasomaisen katodikohteiden alhaista käyttöastetta ja huonoa tasaisuutta.
FFE-tekniikan tärkeimmät edut ovat sen korkea tasalaatuisuus ja kohdemateriaalien korkea käyttöaste. Sisäisesti pyöritettävän magneettikentän avulla FFE-tekniikka voi saavuttaa tasaisuuden hallinnan pinnoitusprosessin aikana.
Sen tasaisuus voi olla parempi kuin ± 3 %, ja myös kohdemateriaalin käyttöaste ylittää 40 %.
Keskeisten etujensa lisäksi FFE-tekniikalla on myös useita tapoja säätää tasaisuutta.
Esimerkiksi muuttamalla magneettiryhmän pyörimisnopeutta (50-120 rpm), tasaisuutta pinnoitusprosessin aikana voidaan säätää.
Lisäksi magneetin asennon säätäminen suhteessa pyörimisakseliin ja magneettilevyjen käyttö magneettikentän säätämiseen ovat myös yleisesti käytettyjä tasaisuudensäätömenetelmiä FFE-tekniikassa.
Näiden säätömenetelmien monimuotoisuus mahdollistaa FFE-tekniikan mukauttamisen erilaisiin pinnoitusvaatimuksiin, mikä parantaa tuotteen laatua ja suorituskykyä.
FFE-tekniikka soveltuu erittäin hyvin myös puolijohdekiekkojen pinnoittamiseen, sillä tasaisen alueen ja pyöreän alustan välinen sovitusaste on korkea, mikä tekee pinnoitusprosessista tarkemman ja tehokkaamman.
Lisäksi FFE-tekniikan katodikohdemateriaalin koko on monipuolinen, valittavana on 3-8 tuumaa ja 10-17 tuumaa, jotka voivat täyttää erikokoisten kiekkojen pinnoitusvaatimukset.
Puolijohdeteollisuuden lisäksi FFE-teknologialla on laaja valikoima sovelluksia myös muilla aloilla.
Esimerkiksi optiikan, elektroniikan, ilmailun jne. aloilla FFE-tekniikkaa voidaan harkita tuotteissa, joilla on korkeat vaatimukset pinnoitteen laadulle ja tasaisuudesta.
FFE-tekniikalla on myös pitkä magneetin käyttöikä, säädettävä pyörimisnopeus, suuri tehokapasiteetti ja kohdemateriaalien suora jäähdytys.
Nämä ominaisuudet tekevät FFE-tekniikasta vakaamman ja luotettavamman pinnoitusprosessin aikana. Samaan aikaan sen kaasunpaineen ohjaus ja tyhjiövesitiiviste takaavat myös pinnoitusprosessin tarkkuuden ja turvallisuuden.
Seuraavat ovat tasaisuuden ja tavoitekäytön mittauksia kohdemateriaalin koko elinkaaren ajalta, toimien eri kW · h (kohdemateriaali Cu (C101), teho 5 kW DC, kaasu on Ar, paine 5,9 E{{ 4}} mbar)
