Tyhjiötekniikkaon perustavanlaatuinen tiede ja tekniikka, jolla on laaja sovellus eri toimialoilla, kuten puolijohteiden valmistus, ilmailu-, aurinkoenergia, tyhjiöpinnoite ja niin edelleen.
Tällä hetkellä teollisuuden tyhjiömittauslaitteet käyttävät yleensä suhteellista tyhjiöastetta karkeassa tyhjiöympäristössä tai positiivisessa paineympäristössä, kun taas absoluuttista tyhjiöastetta käytetään yleensä korkeassa tyhjiö- ja erittäin suuressa tyhjiöympäristössä
1. Tyhjiö
Ilmakehän paineen alapuolella olevan kaasun tila tietyssä tilassa on fyysinen ilmiö.
2. tyhjiöaste
Kaasun harvinaisten astetta tyhjiötilassa edustaa yleensä "korkea tyhjiöaste" ja "matala tyhjiöaste".
Korkea tyhjiöaste tarkoittaa "hyvää" tyhjiöastetta, kun taas alhainen tyhjiöaste tarkoittaa "huonoa" tyhjiöastetta.
3. Äärimmäinen tyhjiö
Riittävän pumppaamisen jälkeen pölyn säiliö stabiloi tietyllä tyhjiöasteella, jota kutsutaan lopulliseksi tyhjiöksi.
Yleensä tyhjiöastian on suoritettava 12 tuntia kaasunjalostusta, jota seuraa 12 tunnin tyhjiöpumppu. Viimeisen tunnin aikana mittaukset tehdään 10 minuutin välein ja 10 mittauksen keskiarvo otetaan lopullisena tyhjiöarvona.
