Tyhjiöpumpussa tyhjiöpumppuöljy ei toimi vain väliaineena tyhjiön saamiseksi, vaan sillä on myös rooli mekaanisten kitkakohtien voitelussa, jäähdytyksessä ja tiivistämisessä.
1. Äärimmäisen alhainen höyrynpaine on tyhjiöpumppuöljyn tärkein suorituskyky. Koska tyhjiöpumput vaativat alipaineasteen 1,33 × 10-4Pa (10-6mm Hg) ja korkeat vaatimukset alle 1,33 × 10-4Pa (10-6mm Hg), haihtuminen tyhjiöpumpun öljyn on oltava erittäin alhainen. Yleensä käytetään parafiinipohjaista kapeafraktioista voiteluöljyä, ja diffuusiotyhjiöpumpuissa voidaan käyttää myös matalahöyrynpaineista silikoniöljyä tai muita synteettisiä öljyjä.
2. Tyhjiöjärjestelmä, jolla on sopiva viskositeetti ja hyvät viskositeetin lämpötilaominaisuudet, hyödyntää pumppukammion tilavuuden jatkuvaa muutosta pakokaasuvaikutuksen muodostamiseksi, jolloin voiteluöljyltä vaaditaan sopiva viskositeetti ja hyvät viskositeettilämpötila-ominaisuudet.
3. Tyhjiöpumppu, jolla on hyvä termisen hapettumisen stabiilisuus, kehittyy edelleen suurella nopeudella. Liukulevyn ja pumpun rungon välisen nopean kitkan ansiosta öljyn lämpötila nousee, mikä tehostaa öljyn lämpö- ja hapetusvaikutuksia. Diffuusiopumput toimivat usein korkeissa ympäristön lämpötiloissa, mikä aiheuttaa höyrynpaineen nousun ja alipaineasteen laskun järjestelmässä. Siksi vaaditaan, että tyhjiöpumppuöljyllä on hyvä lämpöhapetuskestävyys.
4. Hyvä korroosionkestävyys ja emulgointikestävyys. Jos tyhjiöpumpun imemä kaasu on syövyttävää, se syövyttää pumpun sisällä olevia metalliosia ja aiheuttaa kemiallisia muutoksia öljyyn. Lisäksi sisäänhengitetyssä ilmassa on usein vesihöyryä, mikä aiheuttaa tyhjiöpumppuöljyn emulgoitumista, joten vaaditaan hyvää korroosionkestävyyttä ja emulgointikestävyyttä. Tyhjiökuivausprosessissa käytetyn tyhjiöpumppuöljyn emulgointi on näkyvämpi.
5. Korkeampi leimahduspiste edellyttää, että tyhjiöpumpussa ei ole kevyitä komponentteja, jotta se ei vaikuta öljyn kylläisen höyryn paineeseen.
6. Alempi enimmäispaineen rajapaine on tärkeä alipainepumppuöljyn suorituskyvyn osoitin, jotta se ymmärtää tyhjiöpumpun enimmäispaineen alimmalla alipaineen rajapaineella.
